Mise au point d'un procédé d'amincissement et de polissage d'un wafer de silicium Séverine VIVIES

Séverine Vivies 1 David Colin 1 Samuel Charlot 1 Monique Dilhan 1
1 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [Toulouse]
Liste complète des métadonnées

https://hal.laas.fr/hal-01913185
Contributeur : Séverine Vivies <>
Soumis le : mardi 6 novembre 2018 - 10:03:17
Dernière modification le : vendredi 14 décembre 2018 - 11:10:03
Document(s) archivé(s) le : jeudi 7 février 2019 - 13:12:03

Fichiers

protocole d'amincissement et p...
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Identifiants

  • HAL Id : hal-01913185, version 1

Citation

Séverine Vivies, David Colin, Samuel Charlot, Monique Dilhan. Mise au point d'un procédé d'amincissement et de polissage d'un wafer de silicium Séverine VIVIES. Rapport LAAS n° 13274. 2013. 〈hal-01913185〉

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