Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés

Marianne Brillat 1 Inès Massiot 2 Laurent Mazenq 1 Adrian Laborde 1 Olivier Gauthier-Lafaye 2 Hugues Granier 1
1 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [Toulouse]
2 LAAS-PHOTO - Équipe Photonique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes [Toulouse]
Type de document :
Rapport technique
Rapport LAAS n° 17669. 2017
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Contributeur : Laurent Mazenq <>
Soumis le : vendredi 2 novembre 2018 - 15:06:45
Dernière modification le : mercredi 19 décembre 2018 - 16:03:23
Document(s) archivé(s) le : dimanche 3 février 2019 - 12:56:51

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Citation

Marianne Brillat, Inès Massiot, Laurent Mazenq, Adrian Laborde, Olivier Gauthier-Lafaye, et al.. Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés. Rapport LAAS n° 17669. 2017. 〈hal-01911188〉

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