Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés

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Rapport technique
2017
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Contributeur : Laurent Mazenq <>
Soumis le : vendredi 2 novembre 2018 - 15:06:45
Dernière modification le : mardi 13 novembre 2018 - 17:20:04

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Marianne Brillat, Inès Massiot, Laurent Mazenq, Adrian Laborde, Olivier Gauthier-Lafaye, et al.. Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés. 2017. 〈hal-01911188〉

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