Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes Accéder directement au contenu
Rapport Technique Année : 2017

Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Soumis le : vendredi 2 novembre 2018-15:06:45

Dernière modification le : mercredi 13 décembre 2023-18:06:54

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hal-01911188 , version 1 (02-11-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01911188 , version 1

Citer

Marianne Brillat, Inès Massiot, Laurent Mazenq, Adrian Laborde, Olivier Gauthier-Lafaye, et al.. Développement d'un procédé de gravure submicronique : Approche basée sur les copolymères à blocs auto-assemblés. Rapport LAAS n° 17669. 2017. ⟨hal-01911188⟩

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